レーザ微細穴加工装置

レーザ微細穴加工装置

特徴

  • 微細穴あけ加工
     Microdrilling as small as 4μm
  • 溝加工、パターニング
     Laser scribing and patterning
  • アニーリング
     Laser annealing
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仕様

Laser Excimer Laser
Wavelength 248nm
Beam size 4mmx2mm
Maximum energy density 1.6J/cm2
Beam scan XY stage

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