エキシマレーザアニール装置

高精細LCD、OLED対応 エキシマレーザアニール装置

当社のエキシマレーザアニール(ELA)装置はスマートフォンやデジタルカメラ、携帯型ゲーム機の高精細パネルの製造に欠かせません。
高精細パネルのTFT(薄膜トランジスター)には、低温ポリシリコン(LTPS)TFTが広く用いられており、ELA装置はSi薄膜の結晶化に用いられています。

特徴

エキシマレーザアニール装置(ELA装置は高精度ステージ、高出力エキシマレーザー、光学系から構成されます。均一なビームを正確に照射して、ガラス基板上のa-Si膜を低温でpoly-Si化します。本装置は、スマートフォンやデジタルカメラに搭載されている中小型の高精細ディスプレイ(LTPS-LCDやOLED)に活用されています。

【実績】
1995年の販売以来、日本、韓国、台湾、中国、シンガポールの液晶パネルメーカー様にご使用頂いています。

【特長】
・業界最大級のガラス基板寸法に対応
・プロセスマージンの拡大―Pulse Extender、ムラ改善、パルス波形変動の緩和
・メンテナンスコストの改善―チューブの長寿命化
・振動の抑制
・新制御システムの導入―安定性と操作性の向上

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