高精細LCD、OLED対応 エキシマレーザアニール装置
YIELDSCAN ™ ELA
エキシマレーザアニール(ELA)装置は、レーザ照射によってガラス基板上に成膜されたアモルファス(非結晶)シリコン膜をポリシリコンへと改質する装置です。高精細パネルの駆動部であるTFT(薄膜トランジスタ)には低温ポリシリコンが広く用いられており、スマートフォン、デジタルカメラ、携帯型ゲーム機等の高精細パネルの製造にELA装置は欠かせません。
実績
1995年の販売以来、200台以上の装置を日本、韓国、台湾、中国、シンガポールのパネルメーカー様にご使用頂いています。
特徴
- プロセスマージンの拡大―Pulse Extender、ムラ改善、パルス波形変動の緩和
- メンテナンスコストの改善―チューブの長寿命化
- 振動の抑制
- 新制御システムの導入―安定性と操作性の向上
- 当社独自基板搬送技術「⇨ StiFloat™ 」の採用による、プロセス性能の向上
- マルチサイクル搬送による生産性向上（当社比25%向上）とCoO低減（当社比20%低減）
- データ統合・解析システム(iSCAN™)により、装置状態の自己監視や歩留りアップに貢献
大型エキシマレーザアニール装置
(第6世代基板対応)
中型エキシマレーザアニール装置
(第4世代基板対応)
