高精細LCD、OLED対応 エキシマレーザアニール装置
エキシマレーザアニール(ELA)装置は、レーザ照射によってガラス基板上に成膜されたアモルファス(非結晶)シリコン膜をポリシリコンへと改質する装置です。高精細パネルの駆動部であるTFT(薄膜トランジスタ)には低温ポリシリコンが広く用いられており、スマートフォン、デジタルカメラ、携帯型ゲーム機等の高精細パネルの製造にELA装置は欠かせません。
実績
1995年の販売以来、日本、韓国、台湾、中国、シンガポールの液晶パネルメーカー様にご使用頂いています。
特徴
- 業界最大級のガラス基板寸法に対応
- プロセスマージンの拡大―Pulse Extender、ムラ改善、パルス波形変動の緩和
- メンテナンスコストの改善―チューブの長寿命化
- 振動の抑制
- 新制御システムの導入―安定性と操作性の向上
仕様
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