高精細LCD、OLED対応 エキシマレーザアニール装置

YIELDSCAN ™ ELA

エキシマレーザアニール(ELA)装置は、レーザ照射によってガラス基板上に成膜されたアモルファス(非結晶)シリコン膜をポリシリコンへと改質する装置です。高精細パネルの駆動部であるTFT(薄膜トランジスタ)には低温ポリシリコンが広く用いられており、スマートフォン、デジタルカメラ、携帯型ゲーム機等の高精細パネルの製造にELA装置は欠かせません。

実績

1995年の販売以来、200台以上の装置を日本、韓国、台湾、中国、シンガポールのパネルメーカー様にご使用頂いています。

特徴

  • プロセスマージンの拡大―Pulse Extender、ムラ改善、パルス波形変動の緩和
  • メンテナンスコストの改善―チューブの長寿命化
  • 振動の抑制
  • 新制御システムの導入―安定性と操作性の向上
  • 当社独自基板搬送技術「⇨ StiFloat™ 」の採用による、プロセス性能の向上
  • マルチサイクル搬送による生産性向上(当社比25%向上)とCoO低減(当社比20%低減)
  • データ統合・解析システム(iSCAN™)により、装置状態の自己監視や歩留りアップに貢献
大型エキシマレーザアニール装置(第6世代基板対応)

大型エキシマレーザアニール装置
(第6世代基板対応)

中型エキシマレーザアニール装置(第4世代基板対応)

中型エキシマレーザアニール装置
(第4世代基板対応)

ラインナップ

ラインナップ

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