StiFloat™

「StiFloat™」は、お客様の様々なプロセスニーズに応えるべく、新たに開発された弊社独自技術です。

この精密基板搬送技術の採用により、各種装置性能が向上します。

  1. ワーク搬送の等速度向上による(当社比20%アップ)、安定したスキャニングプロセスの実現。
  2. 照射部基板平坦度の向上(当社比50%アップ)による、プロセスマージンの拡大。
  3. 長時間安定した連続照射(インライン照射)が可能
  4. 照射ムラの低減(N2流れムラやVC起因によるムラが低減される)
  5. ESDの低減
  6. パーティクルの低減(基板裏面にパーティクルを付着させません)