YIELDSCAN ™ LLO
量産用装置として日本、韓国、中国、台湾のパネルメーカー様にご使用いただいております。
- 弊社独自開発基板搬送ステージによる、高生産性の実現(当社比50%アップ※1)
- 搭載レーザの波長を選択可〔エキシマレーザ(308nm)、固体レーザ(343nm)〕
- プロセスモニタリング機能(剥離判定)を搭載
- ターンキー機能の搭載(AIによる自動条件出し機能※2)
- フットプリントの低減(当社比40%低減※3)

レーザ剥離装置
(G6 Half 基板対応)
※1 お客様が使用するラインビームのオーバーラップ率によります
※2 深層学習による判定のため、お客様のご協力の下、剥離結果画像を複数枚取得する必要があります
※3 G6H基板用装置