レーザ剥離装置

YIELDSCAN ™ LLO

実績

量産用装置として日本、韓国、中国、台湾のパネルメーカー様にご使用いただいております。

特長

  • 弊社独自開発基板搬送ステージによる、高生産性の実現(当社比50%アップ※1)
  • 搭載レーザの波長を選択可〔エキシマレーザ(308nm)、固体レーザ(343nm)〕
  • プロセスモニタリング機能(剥離判定)を搭載
  • ターンキー機能の搭載(AIによる自動条件出し機能※2)
  • フットプリントの低減(当社比40%低減※3)
FPD用レーザ剥離装置

レーザ剥離装置
(G6 Half 基板対応)

FPD用レーザ剥離装置 ラインナップ

ラインナップ

※1  お客様が使用するラインビームのオーバーラップ率によります

※2  深層学習による判定のため、お客様のご協力の下、剥離結果画像を複数枚取得する必要があります

※3  G6H基板用装置