YIELDSCAN ™ LLO

量産用装置として日本、韓国、中国、台湾のパネルメーカー様にご使用いただいております。

• 弊社独自開発基板搬送ステージによる、高生産性の実現（当社比50%アップ※1）
• 搭載レーザの波長を選択可〔エキシマレーザ(308nm)、固体レーザ(343nm)〕
• プロセスモニタリング機能(剥離判定)を搭載
• ターンキー機能の搭載（AIによる自動条件出し機能※2）
• フットプリントの低減（当社比40%低減※3）

レーザ剥離装置
(G6 Half 基板対応)

※1  お客様が使用するラインビームのオーバーラップ率によります

※2  深層学習による判定のため、お客様のご協力の下、剥離結果画像を複数枚取得する必要があります

※3  G6H基板用装置